Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/6114
Title: Research into effect of electrochemical etching conditions on the morphology of porous gallium arsenide
Authors: S. Vambol
V. Vambol
I . Bogdanov
Y . Suchikova
Keywords: арсенид галлия
морфология
пористые полу-проводники
условия травления
электрохимическое травление
Issue Date: Dec-2017
Citation: EasternEuropean Journal of Enterprise Technologies
Series/Report no.: 6/5(90);DOI: 10.15587/1729-4061.2017.118725
Abstract: Усовершенствован способ фор- мирования пористого арсенида галлия в растворе соляной кисло- ты. Исследованы основные зако- номерности формирования пори- стых пространств. Показано, что морфологические свойства por- GaAs зависят от условий травле- ния. Исследовано влияние плот- ности тока, времени травления и состава электролита на поверх- ностную пористость, толщину пористого слоя и диаметр пор
URI: http://repositsc.nuczu.edu.ua/handle/123456789/6114
Appears in Collections:Кафедра прикладної механіки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
10-PB.pdf1,95 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.